碳化硅氧化炉价格
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设备概述:本碳化硅专用氧化炉为半导体行业碳化硅基底表面氧化、SiO₂绝缘层生长专用高温气氛炉,采用密闭管式炉体结构,精准控制高温、氧气氛围与升温曲线,专为碳化硅晶圆、碳化硅器件表面制备高质量氧化涂层设计,整机洁净度高、温场均匀、工艺重复性好